قوارب تبخر نتريد البورون مقابل. قوارب التنغستن

قوارب تبخر نيتريد البورون مقابل قوارب التنغستن: الاختلافات والمزايا

تُستخدم قوارب التبخر على نطاق واسع لإنتاج الأغشية الرقيقة والطلاءات في العديد من الصناعات مثل الإلكترونيات والبصريات والسيارات. من بين المواد المختلفة المستخدمة في قوارب التبخر، يعد نيتريد البورون (BN) والتنغستن (W) خيارين شائعين. فيما يلي الاختلافات والمزايا بين قوارب التبخير BN مقارنة بقوارب W التقليدية.

بادئ ذي بدء، يتمتع BN بموصلية حرارية أعلى بكثير من W. وهذا يعني أن قوارب التبخر BN يمكنها نقل المزيد من الحرارة إلى الركيزة أثناء عملية الترسيب، مما يؤدي إلى معدل ترسب أسرع وأكثر اتساقًا. علاوة على ذلك، فإن BN عبارة عن مادة خاملة كيميائيًا، مما يعني أنها لا تتفاعل مع المواد التي يتم تبخيرها أو الغازات المستخدمة في غرفة التفريغ. وهذا يقلل من فرصة التلوث ويحسن استقرار واتساق الأغشية الرقيقة.

بالإضافة إلى ذلك، تتمتع قوارب التبخير BN بنقطة انصهار أعلى من W. ويمكن أن يتحمل BN درجات حرارة تصل إلى 2800 درجة، بينما يذوب W عند حوالي 3422 درجة. وهذا يعني أنه يمكن استخدام قوارب BN في عمليات الترسيب ذات درجات الحرارة العالية، مثل الرش التفاعلي وترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)، دون التعرض لخطر فشل القارب أو تشوهه.

ميزة أخرى لقوارب التبخر BN هي انخفاض ضغط البخار. وهذا يعني أن BN لا يتبخر أثناء عملية الترسيب، مما يقلل من فرصة التنوي ويحسن جودة ونقاء الأغشية الرقيقة. علاوة على ذلك، فإن BN عبارة عن مادة غير سامة، مما يجعلها خيارًا أكثر أمانًا للاستخدام في حجرة التفريغ.

باختصار، تتمتع قوارب التبخر BN بالعديد من المزايا مقارنة بقوارب W، بما في ذلك الموصلية الحرارية العالية، والخمول الكيميائي، ونقطة الانصهار الأعلى، وانخفاض ضغط البخار، وعدم السمية. هذه الخصائص تجعل قوارب BN خيارًا ممتازًا لترسيب الأغشية الرقيقة عالية الأداء في مختلف التطبيقات الصناعية.

تلتزم شركة Shengyang New Material Co., Ltd. بإنتاج منتجات معالجة نتريد البورون ونيتريد البورون، ويمكنها تخصيص أجزاء السيراميك العازلة من نتريد البورون وفقًا لاحتياجات العملاء. اتصل بنا إذا لزم الأمر.
الهاتف:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
واتساب:+8613964302243